​XYTh-중공타입 Stage 의 측정 데이터

1.설계 : 이지메카시스템

2.측정 : 이지메카시스템

  1) Renishaw XL-80  (EMS 소유)

  2) Square Master  (EMS 소유)​

  3) Mitutoyo 3차원 측정기  (EMS 소유)​  -> 가공품 측정

  4) Mitutoyo 2um Dial Gauge  (EMS 소유)​

  5) 아진제어기 및 레이저측정기용 프로그램 사용

3. 특주요청 건

-XY 중공타입 Stage : 크로스롤러 가이드, 아크리비스코리아 모듈 사용

-Th 중공타입 Stage : 크로스롤러 베어링, 아크리비스코리아 모듈 사용

-Encoder : RSF MS15 0.1um 사용

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1. XY 중공타입 Stage 측정​​​​​​

2. Th 중공타입 Stage​ 측정

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